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Sauberkeit, die den Unterschied macht.
Für höchste Ansprüche entwickelt: flexible Komponenten für die Halbleiterfertigung, produziert unter kontrollierten Bedingungen für maximale Prozesssicherheit.
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Ein Partner, eine Mission: von der Entwicklung bis zur Auslieferung in Reinraumqualität.

In der Halbleiterproduktion spielt absolute Sauberkeit eine übergeordnete Rolle. Deshalb setzen wir auf hochspezialisierte Reinigungsprozesse, von der Nassreinigung über Inline-Vakuumtrocknung bis zur finalen Verpackung unter Reinraumbedingungen. Jede Baugruppe wird nach Kundenspezifikationüberprüft (z.B. unter ISO-5- oder ISO-7-Bedingungen und durchläuft umfassende Tests wie Helium-Leckprüfungen (bis 10^-10) oder Partikelanalysen (UV-Schwarzlicht-Analyse /RGA / TOC /APC) sowie Bakwout. Die Folge: präzise gefertigte, ultrasaubere und zuverlässige Ergebnisse.

Reine Verbindungen für präzise Prozesse zur Herstellung der Mikrochips der Zukunft

Membranbälge

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Ultra-flexibel für anspruchsvollste Anwendungen.

Höchste Flexibilität bei geringster Steifigkeit und minimalem Bauraum. Unsere Membranbälge halten saubere und funktionale Bereiche zuverlässig auseinander. So schützen Sie Ihre Prozesse vor Verunreinigungen und sichern konstante Reinraumqualität.

Jedes Bauteil wird präzise auf Ihre Anwendung abgestimmt. und erfüllt Ihre Sauberkeitsanforderungen trotz komplexer Wellengeometrie

  • Verlängerte Standzeit sensibler Baugruppen
  • Minimierte Risiken von Leckagen oder Kontamination
  • Einfache Integration in bestehende Reinraumsysteme

Wellbälge

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Druckstabil und präzise.

Für die ultrasaubere Gas- und Flüssigkeitsführung. Unsere Wellbälge verbinden Flexibilität mit hoher Druckfestigkeit. Für ultrareine Medien ausgelegt, erfüllen sie Reinheitsanforderungen von UHV-Dichtheit bis zur partikelfreien Verpackung. Individuell ausgelegt für Leitungen mit Gasen, Flüssigkeiten oder Vakuum.

  • Reduzierte Stillstandszeiten durch stabile Druckfestigkeit
  • Verifizierte Dichtheit durch Helium-Lecktest und Partikelprüfung
  • Reinraumgerechte Verpackung ISO 7 für kontaminationsfreien Einbau

Präzisionsbälge

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Präzise, platzsparend und leistungsstark

Exakte, nahtlose Lösungen von höchster Lebensdauer.

Unsere Präzisionsbälge haben kleinste Durchmesser und erfüllen höchste Reinheitsanforderungen.Gefertigt aus nahtlosen Rohren sichern sie lange Standzeiten.
Ideal für Anwendungen, bei denen es auf jedes Detail ankommt.

  • Höchste Lebensdauer bei minimalem Wartungsaufwand
  • Auch in kompakten Baugruppen platzsparend
  • Erhöhte Prozesssicherheit durch nahtlose Fertigung

Ventilbälge

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Dicht und präzise.

Bälge für Vakuumventile in der Halbleiterproduktion. Unsere Ventilbälge sorgen für präzises Dosieren, Regeln und Trennen. Sie erfüllen dieselben Reinheits- und Präzisionsstandards wie unsere Leitungen. Damit schaffen Sie durchgängige Sicherheit in Ihrer Anlage.

  • Verlängerte Lebensdauer von Hochreinheitsventilen
  • Weniger Wartungskosten durch dauerhaVe Dichtheit
  • Kompatibel mit gängigen Vakuumventil-Systemen

Wellschläuche

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Flexibel und robust.

Absolute Sauberkeit bei Gasen, Flüssigkeiten und Vakuum.

Ob Metall oder hybrid (Kombination aus Metall und Kunststoff), ob mit Geflecht oder ohne: Unsere Wellschläuche führen Medien sicher auch über enge Radien und lange Strecken. Individuell konfiguriert passen sie exakt in Ihr System. Das Ergebnis sind flexible Verbindungen bei höchster Reinheit.

  • Vereinfachte Leitungsführung bei komplexen Anlagenlayouts
  • Höhere Betriebssicherheit durch flexible Bauweise
  • Reduzierte Montagezeiten dank individueller Anpassung

Wickelschläuche

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Sicher und flexibel.

Unsere Wickelschläuche verhindern Knicke und Brüche in sensiblen Leitungen, wie Kabeln oder Glasfaser im Halbleiterumfeld, ob in der Fab oder innerhalb der Maschinen. Mit kleinstem Durchmesser und ultrareiner Verarbeitung bieten sie maximalen Schutz bei minimalem Platzbedarf.

  • Dauerhafter Schutz sensibler Leitungen vor Ausfällen
  • Enge Biegeradien ohne Leistungsverlust
  • Ultrarein gefertigt für höchste Prozesssicherheit


Fragen und Antworten

Ja, Witzenmann bietet Lösungen für anspruchsvolle UHP- und UHV-Anwendungen, insbesondere in der Halbleiterindustrie.

Witzenmann betreut Kunden weltweit über internationale Tochterunternehmen u.a. in Südkorea, Japan und USA.

Das Witzenmann Portfolio umfasst hochreine Membranbälge, Wellbälge, Präzisionsbälge, Bälge für Vakuumventile, Wellschläuche, Wickelschläuche und kundenspezifische Baugruppen für UHP- und UHV-Anwendungen.

Witzenmann versteht sich als Entwicklungspartner für UHP- und UHV-Anwendungen. Mithilfe von Auslegungsprogrammen, fundiertem Expertenwissen und Prüfständen zur praktischen Validierung werden maßgeschneiderte Lösungen gemeinsam mit dem Kunden entwickelt.

Membranbälge bestehen aus einzeln verschweißten Membranscheiben und bieten eine hohe Beweglichkeit, insbesondere für Vakuumanwendungen. Wellbälge werden aus umgeformten Metallrohren gefertigt und eignen sich besonders für höhere Druckbelastungen.

Die Dichtheitsprüfung erfolgt mittels Helium-Lecktest entsprechend den jeweiligen Kundenanforderungen. Typische Prüfleckraten liegen bei 10⁻⁸ mbar l/s. Je nach Anwendung können auch Leckraten bis in den Bereich von 10⁻10 mbar l/s nachgewiesen werden.

Witzenmann sichert die Bauteilqualität über die gesamte Kette ab: von der Beschaffung qualifizierter Werkstoffe über die kontrollierte & verifizierte Fertigung bis zu Endreinigung, Vakuumtrocknung und Verpackung unter Reinraumbedingungen. Ergänzt durch 100 %-Prüfungen und dokumentierte Qualitätsprozesse entstehen so hohe Reinheit, Prozesssicherheit und vollständige Rückverfolgbarkeit.

Die Sauberkeit einzelner Komponenten entscheidet in der Halbleiterfertigung über den Yield ganzer Wafer-Chargen. UHP- und UHV-Bauteile müssen deshalb frei von Partikeln, Restfeuchte und Ausgasungen sein, dauerhaft dicht bleiben und bis zum Einbau kontaminationsfrei geschützt sein. Dafür steht unser Anspruch „Precise & Clean".

Witzenmann denkt Halbleiteranwendungen nicht als Einzelteil, sondern als Baugruppe. Vom Halbzeug bis zum verifiziert hochreinen, einbaufertigen flexiblen Produkt läuft der gesamte Prozess unter einem Dach, und das für das komplette Portfolio aus Membranbälgen, Wellbälgen, Metallschläuchen, hybriden Metall-Kunststoff-Lösungen und Baugruppen.

So reduzieren wir Schnittstellen und schaffen hohe Prozesssicherheit sowie reproduzierbare Qualität. Von der Auslegung bis zum Dichtheitsnachweis der fertigen Baugruppe, alles aus einer Hand.