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Sauberkeit, die den Unterschied macht.
Für höchste Ansprüche entwickelt: flexible Komponenten für die Halbleiterfertigung, produziert unter kontrollierten Bedingungen für maximale Prozesssicherheit.
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Ein Partner, eine Mission: von der Entwicklung bis zur Auslieferung in Reinraumqualität.

In der Halbleiterproduktion zählt absolute Sauberkeit. Selbst kleinste Partikel oder Rückstände können die Qualität ganzer Chargen gefährden. Deshalb setzen wir auf hochspezialisierte Reinigungsprozesse, von der Nassreinigung über Inline-Vakuumtrocknung bis zur finalen Verpackung unter Reinraumbedingungen. Jede Baugruppe wird unter ISO-7-Bedingungen geprüft und durchläuft umfassende Tests wie Helium-Leckprüfungen oder Partikelanalysen. Die Folge: präzise gefertigte, ultrasaubere und zuverlässige Ergebnisse.

Reine Verbindungen für präzise Prozesse

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Membranbälge

Ultra-flexibel für anspruchsvollste Anwendungen.

Höchste Flexibilität bei geringster Steifigkeit und minimalem Bauraum. Unsere Membranbälge halten saubere und funktionale Bereiche zuverlässig auseinander. So schützen Sie Ihre Prozesse vor Verunreinigungen und sichern konstante Reinraumqualität.

Jedes Bauteil wird präzise auf Ihre Anwendung abgestimmt.

  • Verlängerte Standzeit sensibler Baugruppen
  • Minimierte Risiken von Leckagen oder Kontamination
  • Einfache Integration in bestehende Reinraumsysteme
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Wellbälge

Druckstabil und präzise.

Für die ultrasaubere Gas- und Flüssigkeitsführung. Unsere Wellbälge verbinden Flexibilität mit hoher Druckfestigkeit. Für ultrareine Medien ausgelegt, erfüllen sie Reinheitsanforderungen von UHV-Dichtheit bis zur partikelfreien Verpackung. Individuell ausgelegt für Leitungen mit Gasen, Flüssigkeiten oder Vakuum.

Reduzierte Stillstandszeiten durch stabile Druckfestigkeit

Verifizierte Dichtheit durch Helium-Lecktest und Partikelprüfung

Reinraumgerechte Verpackung ISO 7 für kontaminationsfreien Einbau

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Wellschläuche

Flexibel und robust.

Absolute Sauberkeit bei Gasen, Flüssigkeiten und Vakuum.

Ob Metall oder hybrid, ob mit Geflecht oder ohne: Unsere Wellschläuche führen Medien sicher auch über enge Radien und lange Strecken. Individuell konfiguriert passen sie exakt in Ihr System. Das Ergebnis sind flexible Verbindungen bei höchster Reinheit.

Vereinfachte Leitungsführung bei komplexen Anlagenlayouts

Höhere Betriebssicherheit durch flexible Bauweise

Reduzierte Montagezeiten dank individueller Anpassung

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Für die Mikroelektronik- und Halbleiterfertigung

  • Dauerfeste Metallbälge für Vakuumventile
  • Membranbälge mit höchster Beweglichkeit
  • Metallschläuche für Anwendungen die extremste Sauberkeit erfordern
  • Präzisionsbälge/ -aktuatoren für Optikanwendungen
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Hochwertige Produktionsinfrastruktur

  • Diverse automatisierte und manuelle Anlagen zur wässrigen Bauteilreinigung
  • Vakuumtrocknung für höchste Ansprüche an Bauteilrestfeuchtigkeit
  • Eigenständige Produktionsumgebung mit Reinräumen bis Klasse 5 gem. ISO 14644
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Qualität vom Weltmarktführer

Zur Sicherung unserer Bauteilqualität bieten wir alle gängigen Bauteilprüfungen auch unter Reinraumbedigungen:

  • Dichtheitsprüfung mittels Helium-Lecktest
  • Visuelle Oberflächenkontrolle mittels UV-Licht
  • Analyse metallischer und organischer Partikel
  • Qualifizierung des Ausgasverhaltens

Eine individuelle, reinraumtaugliche Verpackung ermöglicht das direkte Einschleusen unserer Produkte.